电子气体的分类
一般电子气体可划分为大宗普通气体、特种气体和大宗特种气体。目前电子消费品的种类繁多以及升级换代日趋频繁,同类产品的不同制造规模、不同级别档次的生产工厂和科研机构共存。
大规模供气系统主要针对大规模量产的超大规模集成电路厂(气体种类包括等),以上的太阳能电池生产线(气体种类包括发光二极管的磊晶工序线(气体种类包括,代以上液晶显示器工厂(气体种类包括,光纤(气体种类包括硅材料外延生产线(气体种类包括等行业。它们的投资规模巨大,采用先进的工艺制程设备,用气需求大,对稳定和不间断供应、纯度控制和安全生产提出严格的要求。上述工厂的大宗普通气体多采用现场制气或工业园区管道集中供应方式,一个年产万片的超大规模集成电路厂高纯氮气的需求超过,发光二极管的磊晶工序线和硅外延生产线的氢气需求超过。除了普通钢瓶(及以下)包装的特种气体外,还有多种类的特种气体都普遍采用大包装容器,由此它们被称为大宗特气,包括钢瓶集装格罐等。
高纯气体怎么做成零点气体
高纯气体用作零点气的制作完全类似于气体标准物质的制作,但操作过程可以简化。通常使用的稀释气体中的某种或某类杂质含量低于分析方法所采用测量仪器的小检出量,则此种稀释气就可为“零点”气使用。
零点气体是用于在给定的含量范围内,用给定的分析方法去校准标准工作曲线的零点。当其作为被测样品进入检测仪表后,在仪器选下的测量范围内,仅呈现仪表零点的响应值,而不会产生偏离预置零点以外的响应信号。对不同类型的检测方法和不同灯头型的检测仪器,zui低检测限会对零点气体提出不同的要求。
如用在线分析仪器测量CO2高纯气体中的总烃含量时,可采用气相色谱法用氢火焰离子化检测器(FID)检测,由于FID存在强烈的基体效应,当采用不同基体的零点气校正仪表时,会导到致不可忽略的误差。
氦气和其它气体不一样,氦气化学性质非常稳定,和其它有各种化合物的气体不一样。氢气、氮气等气体可以在实验室中通过化合物之间的反应来获取纯气,但是氦气没有化合物也就无法有所谓的实验室制氦气的方法。那么工业制氦气可行么?其实严格说来工业制氦气也是不行的,通常所说的工业制氦气指的是粗氦的提纯而不是制造。
现有的氦气都是混杂在然气中,工业制氦气也只是利用各种方法手段将氦气从其中提取出来,再通过液化分馏等手段进一步提纯获得更高纯度的氦气,例如超纯氦气、5N氦气等。理论上只要然气中氦气的含量超过0.5%就可以进行分离,实现大规模的商业开发。
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