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高纯氮气概念简述

高纯氮气主要指的是对现有的氮气进行纯化,从而得到几乎不含任何杂质的气体。对氮气进行纯化的主要方法有吸附法、分离法与变压法,通过纯化的过程得到高纯度氮气。高纯度氮气具有较多优势,其用途十分广泛。

可以将高纯氮气运用在大规模集成电路和半导体原件的的制作上,为其提供氮气源保护作用,还可以将高纯氮气运用在清洗、密封、置换、蒸发等工作中,充分利用高纯氮气的优势,为高纯洁净环境空间提供气体保护,高纯氮气甚至还可以运用在航天技术中,保障航天行业发展。高纯度氮气具有较多优势,只要使用得当,就会起到促进行业生产与发展的作用。




什么是电子气体

电子气体是超大规模集成电路、平面显示器件、化合物半导体器件、太阳能电池、光纤等电子工业生产不可缺少的原材料,它们广泛应用于薄膜、刻蚀、掺杂、气相沉积、扩散等工艺。例如在目前工艺技术较为先进的超大规模集成电路工厂的晶圆片制造过程中,全部工艺步骤超过道,其中大约要使用种不同种类的电子气体。

电子气体输送系统是指为满足工艺制程的需求,在充分保证工艺和产品安全使用的前提下,将电子气体从气源端无二次污染、控制工艺需求的流量和压力等参数、稳定地输送到工艺生产设备的用气点。根据气体性质和供应包装的不同。




电子气体污染控制要求日趋严格随着电子消费品的升级换代,产品制造尺寸越来越大,产品良率和缺陷控制越来越严格,整个电子工业界对电子气体气源纯度,以及杜绝输送系统二次污染的要求越来越苛刻。基本上工业界对电子气体气相不纯物以及颗粒度污染提出的技术指标,直接与分析仪器技术进步带来的较低检测极限(直接关联。如传统的激光颗粒测试仪可测到微米,而核凝结技术可达到微米。目前超大规模集成电路制造线宽已经发展到纳米,对于大宗气体的纯度都要求在级别,颗粒度控制直指分析仪器的下限。实验室超高亮度技术指标已达到以上,对于氢气和氨气的纯度控制要求也都小于氨气则釆用多级精馏生产技术指标到达的白氨的氢气需要采用先进的钯膜纯化器提纯至。




液态氧能刺激皮肤和组织,引起冷烧殇。从液态氧蒸发的氧气易被衣服吸收,而且遇到任何一种火源均可引起急剧地燃烧。

氧中?治应及时,加强通风,改吸空气,安静休息,保持呼吸道通畅,给予镇静,防止肺部继发染。动物实验证明大剂量维生素C对氧中?有一定效果,可以采用。预防在于合理使用氧,使用高压氧时,应严格控制次数和时间。

缺氧的救治,关键在于除去造成缺氧的原因,和防治脑水肿。一般应立即撤离现场,吸入氧气,宜用正压给氧。

当皮肤接触液氧时,应立即用水冲洗,伤重者应就医诊治。




发布时间:2020-07-08
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