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电子气体的分类

一般电子气体可划分为大宗普通气体、特种气体和大宗特种气体。目前电子消费品的种类繁多以及升级换代日趋频繁，同类产品的不同制造规模、不同级别档次的生产工厂和科研机构共存。

大规模供气系统主要针对大规模量产的超大规模集成电路厂（气体种类包括等），以上的太阳能电池生产线（气体种类包括发光二极管的磊晶工序线（气体种类包括，代以上液晶显示器工厂（气体种类包括，光纤（气体种类包括硅材料外延生产线（气体种类包括等行业。它们的投资规模巨大，采用先进的工艺制程设备，用气需求大，对稳定和不间断供应、纯度控制和安全生产提出严格的要求。上述工厂的大宗普通气体多采用现场制气或工业园区管道集中供应方式，一个年产万片的超大规模集成电路厂高纯氮气的需求超过，发光二极管的磊晶工序线和硅外延生产线的氢气需求超过。除了普通钢瓶（及以下）包装的特种气体外，还有多种类的特种气体都普遍采用大包装容器，由此它们被称为大宗特气，包括钢瓶集装格罐等。

真空镀膜行业中，氩气的流量大小具体如何控制?

如果是说镀膜时为了调节压力使用的气体 个人认为如下：氩气如果只是调节压力，一次压可以不计，但是二次压要小于0.5个大气压。氮气也是，主要是因为如果大了，会导致真空仓内的压力变化太剧烈，导致误差。如果是使用离子源，那么氩气入气量不宜过大，大了导致离子量过大，烧坏部件。压力和上边没什么差别。

任何固体材料在大气环境下都会溶解和吸附一些气体，当材料置于真空状态时就会因为脱附、解析而出气。出气的速率与材料中的气体含量成正比。不同的材料解析的气体成分及解析的温度及时间是不同的。

各种泵对不同成分的气体抽气速率也是不一样的。抽真空时,首先抽走的是容器中的大气(这部份气体很快被抽走,10-1Pa时炉内气体基本抽尽),然后是材料表面解吸的气体、材料内部向表面扩散出来的气体,以及通过器壁滲透到真空中的气体.因此在货品进入炉内之后，都要进行保温除气，因为货品在进炉前会吸附一些杂质气体，我们要通过适当的加热，让这些气体解析脱附货品的表面。以不锈钢为例，除了在它表面吸附的气体之外，在不断的加热保温过程中钢内部还会析出一些气体，这些气体的存在往往对薄膜的纯度和颜色有较大的影响，对膜层附着力影响也很大。

因此真空镀膜机镀膜时，膜层的好坏，气体启着关键性的作用，是镀膜环节不可或缺的一步。

标气主要分为：纯气标准气和混合标准气；标准气体主要指：混合标准气体，属于气体标准物质（计量器具范畴）。

标准物质的定义是具有一种或多种足够均匀和很好确定了的特性值，用以校准测量装置、评价测量方法或是浓度均匀的，良好稳定和量值准确的测定标准，它们具有复现，保存和传递量值的基本作用，在物理，化学，生物与工程测量领域中用于校准测量仪器和测量过程，评价测量方法的准确度和检测实验室的检测能力，确定材料或产品的特性量值，进行量值仲裁等。

市面上标准气体的经营及生产单位有很多，进行计量认证、建标等必需选用有相关资质（国家标准物质定级书）和分析检测能力的有证标准物质。