高纯氮气在电子行业中的运用电子气体是发展集成电路、光电子、微电子，特别是超大规模集成电路、液晶显示器件、半导体发光器件和半导体材料制造过程中不可缺少的基础性支撑源材料，其中高纯氮气具有较多优势，不仅能够运用在冶金工业中，还能够运用在电子行业中。由于电子行业在生产过程中，也会对环境造成一定影响与破坏，因此电子行业迫切需要转型与升级，在提高生产工艺的基础上，将对环境的影响降低。电子行业中氮气纯度必须保持在99.999%之上，才符合电子行业的生产标准。

高纯管道在高纯气体输送中的意义

常见气体的种类+ w* r% P( G( `5 K  _* u, A& ~

电子行业中常见气体的分类：/ c9 A7 q6 A& P$ e, [& |; F3 O

普通气体，也称大宗气体 （Bulk gas ）：氢气（H2）、氮气（N2）、氧气（O2）、氩气（A2）等

特种气体（Specialty gas ）主要有 SiH4 PH3 B2H6 A8H3 CL HCL CF4 NH3POCL3 SIH2CL2 SIHCL3 NH3 BCL3 SIF4 CLF3 CO C2F6 N2O F2 HF HBR SF6……等等

氩气是一种惰性气体，现在广泛应用于工业行业，是一种很有用的稀有气体，氩气性质非常不生动，它既不能焚烧，也不能助燃，因而稳定性很好，氩气不会发生化学反应而爆燃爆，只有可能因为科拉贝隆推导公式的压强改变而燃爆。氩气罐很结实，也不会像煤气罐那样单片横飞，ArF是有的，但温度改变不大，一般情况下，乃至高温高压下都没有问题。 高纯氩气的国家履行标准是GB/T10624—1995，质量要求到达99.999%以上。

氩气是采用空气分离提氩，即将液化的空气进行精馏,得到粗氩.抽出粗氩,经进一步提纯可得到高纯氩，高纯氩在半导体工业中用作出产高纯硅和锗晶体的保护气体；可用作系统清洗、屏蔽和增压用的惰性气体；在化学气相堆积、溅射和退火等工艺中有所应用。高纯氩也可作为色谱载气.氩被广泛用来充填弧光灯、荧光灯和电子管；焊接保护气；在钛、钴和其他活性金属的出产中用作屏蔽气；在黑色冶金中用于吹炼特种钢。