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什么是电子气体

电子气体是超大规模集成电路、平面显示器件、化合物半导体器件、太阳能电池、光纤等电子工业生产不可缺少的原材料，它们广泛应用于薄膜、刻蚀、掺杂、气相沉积、扩散等工艺。例如在目前工艺技术较为先进的超大规模集成电路工厂的晶圆片制造过程中，全部工艺步骤超过道，一级标准气体厂家，其中大约要使用种不同种类的电子气体。

电子气体输送系统是指为满足工艺制程的需求，在充分保证工艺和产品安全使用的前提下，将电子气体从气源端无二次污染、控制工艺需求的流量和压力等参数、稳定地输送到工艺生产设备的用气点。根据气体性质和供应包装的不同。

真空镀膜时为什么要用到高纯气体
在真空离子镀膜中，所选用不同气体所生产出来的，液态气体色泽也会不一样，氩气一般用作创造镀膜的环境镀钛和铬时，工业气体充入氮气可生产出银色和黄色的产品而想要生产出黑色或灰色的产品，则需要加入气体加入氧气则生产蓝色的产品。除了气体外所生产出的产品颜色还受压力、温度、时间等条件影响。

真空电镀是利用的什麽原理?

在高真空度的条件下，高纯度的镀层金属（如铝）在高温下蒸发后会自由地飞散开并沉降在工件表面，形成镀层。氩气为保护性气体，防止氧化反应影响镀层质量。氩气在电镀过程中有何用?

氩气不参与反应，只是增加气压，改善镀膜时靶的放电条件，汽车尾气标准气体厂家，氩气不是用于镀膜，主要用于创造镀膜的环境。氮气和氩气都是惰性气体，冲进去以后，莱芜标准气体厂家，一 可以排除氧气，防止氧化，二更具氮气和氩气在扩散泵内的含量比例不同，二氧化硫标准气体厂家，可以镀膜出不同的颜色.主要是为了改变镀膜出来产品的色彩.

常见气体的种类+ w* r% P( G( `5 K  _* u， A& ~

电子行业中常见气体的分类：/ c9 A7 q6 A& P$ e， [& |; F3 O

普通气体，也称大宗气体 （Bulk gas ）：氢气（H2）、氮气（N2）、氧气（O2）、氩气（A2）等

特种气体（Specialty gas ）主要有 SiH4 PH3 B2H6 A8H3 CL HCL CF4 NH3POCL3 SIH2CL2 SIHCL3 NH3 BCL3 SIF4 CLF3 CO C2F6 N2O F2 HF HBR SF6……等等

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